• 君临国际

    AX-90
    图形晶圆AI光学检测系统
    1. 支持8~12英寸,配置两组上下片,双机械手交替作业。
    2. 高速自动对焦技术,实时预测晶圆表面不同区域的高度变化。
    3. 高速显微光学系统,并行图像处理,吞吐量>100张/秒。
    4. 融合注意力机制,亚微米级检测精度,最小检测缺陷 < 0.5um。
    5. 智能缺陷标注,一个AI模型支持多种芯片,持续学习增量训练。
    6. 100%采用AI,利用CUDA加速引擎,对图像块并行分析与计算。
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